プラズマ用高周波（ＲＦ）電源などのアドテックプラズマテクノロジー（福山市）は、新型の高速ＲＦ制御システム「マークファイブ」を開発した。一部アナログ制御があった従来機に比べ、電力制御を１０００倍以上の業界最速レベルに高速化した。フルデジタル制御で開発。高周波電源・インピーダンス（電気の流れにくさの値）整合装置・周辺計測機器のすべてに共通利用できる基幹制御システムで、自動検査などとの親和性が向上し、製品づくりの信頼性が増すという。マークファイブ搭載の新型機を半導体製造装置メーカーに順次納品し、評価試験を進めている。

担当記者：高見