地域経済 2024.05.30

半導体製造装置のディスコ ダイヤモンドウエハー大口径化

半導体製造装置のディスコ ダイヤモンドウエハー大口径化

呉市に主要生産拠点を置く半導体製造装置メーカーのディスコ(東京)は、レーザーによるインゴットスライス技術「KABRA」を応用し、大口径ダイヤモンドウエハー製造を実現するプロセスを開発した。
従来のダイヤモンドウエハースライスにはインゴット側面からレーザーで加工を行うため制約があり、大口径化が困難だった。一方、KABRAでのスライスはインゴット上面からレーザー照射することで大口径化に対応。浅くレーザーを照射することで100㍃㍍以下の薄片で切り出せるため、従来方式よりも多くのウエハー製造が期待できるという。同技術の関連特許45件を登録済み。現在、テストカットを受け付けている。

この記事はいかがでしたか?
県内約2,500社の企業・決算・役員情報などを検索!

関連記事

料金プランへの誘導バナー・デザイン差し替え

おすすめ記事

広告
広告

最新ランキング(2026.3.24更新)

企業データベース