プラズマ用高周波（ＲＦ）電源などのアドテックプラズマテクノロジー（福山市）は、新型の高速ＲＦ制御システム「マークファイブ」を開発した。一部アナログ制御があった従来機に比べ、電力制御を１０００倍以上の業界最速レベルに高速化した。フルデジタル制御で開発。高周波電源・インピーダンス（電…

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